美国Aalborg气体质量流量计

时间:2024-06-23 点击:72次

美国Aalbo r g , Aalbo r g 气体质量流量计, Aalbo r g 控制器


美国Aalbo r g  Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。


产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器


典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。


设计特点:
-刚性金属结构 
-流程范围从0开始到10sc c m直到0到1000slpm 
-***大压力500psig(34.5Bar) 
-泄漏率1*10-7氦气 
-NIST系统标定可追踪的证明 
-可倾斜的LCD读表 
-0-5Vdc或4-20mA信号输出 
-电路保护 
-可用作便携式的设备 
-0到100%比例显示 
-可配备流量计算机 

精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。 
重复性:±0.5%满量程 
回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2秒 
温度系数:0.15%满量程/℃ 
压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar) 
气体/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃) 
输出信号:0-5Vdc,***小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 
传感器输出:+12Vdc;***大200Ω。+24Vdc可选 
时间恒量:800ms 

气体压力:***大1000psig(70bar)。可选20psig(1.4bar) 
流体接触面材质:A:GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环 
B:GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不锈钢系列:316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。 
方位灵敏度:水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置 
连接:GFC17和37:1/4"卡套螺纹VCR?或1/8"卡套可选(GFC17) 
GFC47:3/8"卡套螺纹 
GFC57:3/8"卡套螺纹 
GFC67:1/2"卡套螺纹 
GFC77:3/4"卡套螺纹 
VCR?或3/4"卡套可选(GFC77)

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郗涛
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